制备二氧化硅质的凝胶

使四氯化硅水解而生成二氧化硅质的凝胶、或使四甲氧基硅烷等有机硅化合物水解而生成二氧化硅质的凝胶、或者使用气相二氧化硅生成二氧化硅质的凝胶。

造粒工序

通过干燥该二氧化硅质的凝胶而成为干燥粉，粉碎该干燥粉后，进行分级，由此得到所期望平均粒径的二氧化硅粉末。

烧结工序

对造粒工序中所得到的二氧化硅粉末在800℃~1450℃的温度进行烧结，利用热等离子体的球化工序，在以预定的流量导入氩气并以预定的高频输出功率产生等离子体的等离子体炬内，以预定的供给速度投入烧结工序得到的二氧化硅粉末，在从2000℃至二氧化硅的沸点的温度加热并熔融。

清洗工序

去除附着于上述球化工序后的球化二氧化硅粉末表面上的微粉。

干燥工序

干燥上述清洗工序后的二氧化硅粉末。